Digital holography: a non-destructive technique for inspection of MEMS

Anno: 2009

Autori: Coppola G., Grilli S., Ferraro P., De Nicola S., Finizio A.

Affiliazione autori: CNR – Istituto di Microelettronica e Microsistemi, Via P. Castellino 111 Napoli, Italy, CNR – Istituto Nazionale di Ottica Applicata, Via Campi Flegrei 34, 80078 Pozzuoli, Italy; CNR – Istituto di Cibernetica,Via Campi Flegrei 34, 80078 Pozzuoli (NA), Italy

Giornale/Rivista: JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA B-OPTICAL PHYSICS

Maggiori informazioni: isbn 109812834125
Parole chiavi: digital holography