Absolute planarity with multiple measurements and iterative data reduction algorithm

Anno: 2009

Autori: Vannoni M., Molesini G.

Affiliazione autori: CNR-Istituto Nazionale di Ottica Applicata

Giornale/Rivista: JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA B-OPTICAL PHYSICS

Parole chiavi: Optical metrology; absolute planarity; optical testing; iterative algorithm;