High-accuracy flatness intercomparison: CNR-INOA report

Anno: 2008

Autori: Molesini G., Vannoni M.

Affiliazione autori: CNR-Istituto Nazionale di Ottica Applicata

Giornale/Rivista: JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA B-OPTICAL PHYSICS

Parole chiavi: Optical metrology; absolute planarity;