New approaches towards nanometre accuracy in absolute planarity measurements
Anno: 2007
Autori: Vannoni M., Molesini G.
Affiliazione autori: CNR-Istituto Nazionale di Ottica Applicata
Giornale/Rivista: JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA B-OPTICAL PHYSICS
Parole chiavi: optical testing; metrology; absolute planarity
