Scanning probe microscopy as a tool for nanoimprint lithography
Anno: 2007
Autori: Pingue P., Dinelli F., Baschieri P., Ascoli C., Menozzi C., Facci P., Beltram F.
Affiliazione autori:
Giornale/Rivista: JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA B-OPTICAL PHYSICS
Parole chiavi: Nanolitografia; AFM; FIB
