Focused ion beam as tool for improvement on
Anno: 2007
Autori: C Menozzi1, L Calabri1, P Pingue2, P Baschieri3,
Affiliazione autori:
Giornale/Rivista: JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA B-OPTICAL PHYSICS
Parole chiavi: Nanolitografia; AFM; FIB
