A fast versatile optical profilometer
Anno: 1979
Autori: Arecchi F.T., Bertani D., Ciliberto S.
Affiliazione autori: Istituto Nazionale di Ottica, Largo E. Fermi 6, 50125 Firenze, Italy;
Department of Physics, University of Firenze, 50125 Firenze, Italy
Abstract: We describe a new optical profilometer for the measurement of surface roughness of workpieces form the submicrometer range up to several tens of micrometers. The device has speed and sensitivity characteristics better than mechanical profilometers. It overcomes the randomness requirements which limit the use of optical devices working on angular diagrams or speckle correlation measurements
Giornale/Rivista: OPTICS COMMUNICATIONS
Volume: 31 (3) Da Pagina: 263 A: 266
Parole chiavi: optical profilometer
DOI: 10.1016/0030-4018(79)90193-7
Citazioni: 21
dati da “WEB OF SCIENCE” (of Thomson Reuters) aggiornati al: 2025-06-01
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