MEMS characterization by digital holography

Anno: 2005

Autori: Coppola G., Striano V., Ferraro P., Grilli S., Alfieri D., De Nicola S., Finizio A., Pierattini G., Javidi B.

Affiliazione autori: CNR-IMM, CNR-INOA, CNR-ICIB, University of Connecticut

Giornale/Rivista: JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA B-OPTICAL PHYSICS

Parole chiavi: MEMS; digital holography;