Procedura INOA-GP004/P: campione di planarità di prima linea, diametro 150 mm – Rev. 0
Anno: 2008
Autori: Vannoni M., Molesini G.
Affiliazione autori: CNR-Istituto Nazionale di Ottica Applicata
Giornale/Rivista: JOURNAL OF THE OPTICAL SOCIETY OF AMERICA B-OPTICAL PHYSICS
Parole chiavi: Metrologia
