Characterization of microelectromechanical systems by digital holography method

Anno: 2006

Autori: Baltiysky S., Gurov I., De Nicola S., Ferraro P., Finizio A., Coppola G.

Affiliazione autori: Saint Petersburg State University of Information Technologies, Mechanics and Optics 14 Sablinskaya st., Saint Petersburg, 197101, Russia;
Istituto di Cibernetica del CNR “E. Caianiello”, Via Campi Flegrei 34, 80078 Pozzuoli (NA), Italy;
CNR – Istituto Nazionale di Ottica Applicata, Sez. di Napoli, Via Campi Flegrei 34, 80078 Pozzuoli (NA), Italy;
Istituto per la Microelettronica e i Microsistemi del CNR, Via P. Castellino 11, 80131, Napoli, Italy

Abstract: The principle of the digital holography (DH) technique and the potentialities of the method are considered. Experimental results obtained using the DH microscopy technique for characterizing microelectromechanical systems (MEMS) are presented and discussed.

Giornale/Rivista: IMAGING SCIENCE JOURNAL

Volume: 54 (2)      Da Pagina: 103  A: 110

Parole chiavi: digital holography; phase recovery; microelectromechanical systems
DOI: 10.1179/174313106X98746

Citazioni: 6
dati da “WEB OF SCIENCE” (of Thomson Reuters) aggiornati al: 2025-05-18
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